Открытый датчик PP 281 R HEIDENHAIN (ХАЙДЕНХАЙН)

Характеристики:

Открытый датчик PP 281 R HEIDENHAIN.

Для двухкоординатных изменений. На двухкоординатном PP имеется плоская фазовая решетка, изготовленная с использованием процесса DIADUR, служит в качестве стандартного измерительного стандарта, который сканируется по мере необходимости. Это позволяет измерять позиции в плоскости.

Широкая область использования датчиков:

- технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве;

- установки автоматического монтажа в микроэлектронике;

- высокоточные металлообрабатывающие станки

- компараторы, измерительные машины и микроскопы, прецизионная измерительная техника;

- ультрапрецизионное оборудование.

Техническая характеристика:

PP 281 R
Стандарт измерения Коэффициент линейного расширения	Двухкоординатная фазовая решетка TITANID на стекле; период решетки 8 мкм α 8 x 10 -6 K -1
Степень точности	± 2 мкм
Диапазон измерения	68 мм х 68 мм, другие диапазоны измерений по запросу
Опорные метки	Одна контрольная метка на каждой оси, 3 мм после начала измерения длины
Сопряжение	1 В PP
Период сигнала	4 мкм
Частота среза -3 дБ	≥ 300 kHz
Скорость перемещения	≤ 72 м / мин
Интерполяция RMS-шум	± 12 нм 3) 2 нм (450 кГц 2) )
Электрическое подключение	Кабель 0,5 м с 15-контактным разъемом D-sub; интерфейсная электроника в разъеме
Длина кабеля	≤ 30 м (с кабелем HEIDENHAIN)
Источник питания	DC 5 В ± 0,25 В
Потребляемый ток	<185 мА на ось
Вибрация 55 Гц - 2000 Гц Удар 11 мс	≤ 80 м / с 2 (EN 60068-2-6) ≤ 100 м / с 2 (EN 60068-2-27)
Рабочая Температура	0 ° C до 50 ° C
Масса сканирующей головки Сетка решетки Соединительный кабель	170 г (без кабеля) 75 g 37 г / м 140 g

Каталог

Новости

Отзывы

Вопрос-ответ

Статьи

Наши партнеры

Технические публикации