Станки для металлообрабатывающей промышленности от 20 000 рублей
Главная Автоматика и комплектующие HEIDENHAIN Датчики линейных перемещений HEIDENHAIN Открытые датчики Открытый датчик LIDA 475/485 HEIDENHAIN (ХАЙДЕНХАЙН)
Открытый датчик LIDA 475/485 HEIDENHAIN (ХАЙДЕНХАЙН)
Характеристики:
Открытый датчик LIDA 475/485 HEIDENHAIN.
Для высоких скоростей перемещения и больших измерительных длин. Линейные устройства LIDA специально разработаны для высокой скорости перемещения до 10 м / с и особенно просты в установке с различными возможностями монтажа. В качестве носителей для градаций METALLUR используются ленты стальной печати, стеклянная керамика, в зависимости от соответствующего датчика. Они также оснащены концевым выключателем.
Широкая область использования датчиков:
- технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве;
- установки автоматического монтажа в микроэлектронике;
- высокоточные металлообрабатывающие станки
- компараторы, измерительные машины и микроскопы, прецизионная измерительная техника;
- ультрапрецизионное оборудование.
Техническая характеристика:
|
Линейная шкала |
LIDA 405 |
||||
|
Стандарт измерения Коэффициент линейного расширения |
Стальная лента с решеткой шкалы METALLUR; период решетки 20 мкм Зависит от монтажной поверхности |
||||
|
Степень точности |
± 5 мкм |
||||
|
Исходная |
≤ ± 0,750 мкм / 50 мм |
||||
|
Длина измерения ML * в мм |
140 240 340 440 540 640 740 840 940 1040 1140 1240 1340 1440 1540 1640 1740 1840 1940 2040 |
||||
|
Более крупные измерительные длины до 30 040 мм с односекционной лентой и отдельными несущими секциями |
|||||
|
Опорные метки |
Один в средней точке измерения длины |
||||
|
масса |
115 г + 0,25 г / мм длина измерения |
||||
|
Сканирующая головка |
LIDA 48 |
LIDA 47 |
|||
|
Сопряжение |
1 В PP |
TTL |
|||
|
Интегрированная интерполяция * Период сигнала |
– 20 мкм |
5-кратный 4 мкм |
10-кратный 2 мкм |
50-кратный 0,4 мкм |
100-кратный 0,2 мкм |
|
Частота среза -3 дБ |
≥ 400 kHz |
– |
|||
|
Частота сканирования * |
– |
≤ 400 kHz ≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz |
≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz ≤ 25 kHz |
≤ 50 kHz ≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz |
≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz ≤ 6.25 kHz |
|
Разделение края a |
– |
≥ 0,100 мкс ≥ 0,220 мкс ≥ 0,465 мкс ≥ 0,950 мкс |
≥ 0,100 мкс ≥ 0,220 мкс ≥ 0,465 мкс ≥ 0,950 мкс |
≥ 0,080 мкс ≥ 0,175 мкс ≥ 0,370 мкс |
≥ 0,080 мкс ≥ 0,175 мкс ≥ 0,370 мкс |
|
Скорость перемещения |
≤ 480 м / мин |
≤ 480 м / мин ≤ 240 м / мин ≤ 120 м / мин ≤ 60 м / мин |
≤ 240 м / мин ≤ 120 м / мин ≤ 60 м / мин ≤ 30 м / мин |
≤ 60 м / мин ≤ 30 м / мин ≤ 15 м / мин |
≤ 30 м / мин ≤ 15 м / мин ≤ 7,5 м / мин |
|
Интерполяция |
± 45 нм |
– |
|||
|
Концевые выключатели |
L1 / L2 с двумя разными магнитами; выходные сигналы : TTL (без линейного драйвера) |
||||
|
Электрическое подключение |
Кабель 0,5 м, 1 м или 3 м, с 15-контактным разъемом D-sub |
||||
|
Длина кабеля |
≤ 20 м (с кабелем HEIDENHAIN) |
||||
|
Питание |
DC 5 В ± 0,5 В |
||||
|
Потребляемый ток |
<130 мА |
<150 мА (без нагрузки) |
|||
|
Вибрация 55 Гц - 2000 Гц Удар 6 мс |
≤ 500 м / с 2 (EN 60 068-2-6) ≤ 1000 м / с 2 (EN 60 068-2-27) |
||||
|
Рабочая Температура |
-10 ° C до 70 ° C |
||||
|
Масса сканирующей головки Соединительный кабель |
20 г (без кабеля) 22 г / м 32 g |
||||
