Станки для металлообрабатывающей промышленности от 20 000 рублей
Главная Автоматика и комплектующие HEIDENHAIN Датчики линейных перемещений HEIDENHAIN Открытые датчики Открытый датчик LIDA 473/483 HEIDENHAIN (ХАЙДЕНХАЙН)
Открытый датчик LIDA 473/483 HEIDENHAIN (ХАЙДЕНХАЙН)
Характеристики:
Открытый датчик LIDA 473/483 HEIDENHAIN.
Для высоких скоростей перемещения и больших измерительных длин. Линейные устройства LIDA специально разработаны для высокой скорости перемещения до 10 м / с и особенно просты в установке с различными возможностями монтажа. В качестве носителей для градаций METALLUR используются ленты стальной печати, стеклянная керамика, в зависимости от соответствующего датчика. Они также оснащены концевым выключателем.
Широкая область использования датчиков:
- технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве;
- установки автоматического монтажа в микроэлектронике;
- высокоточные металлообрабатывающие станки
- компараторы, измерительные машины и микроскопы, прецизионная измерительная техника;
- ультрапрецизионное оборудование.
Техническая характеристика:
|
Линейная шкала |
LIDA 403 |
|||||
|
Стандарт измерения Коэффициент линейного расширения * |
Макетная решетка METALLUR на стеклянную керамику или стекло; период решетки 20 мкм α 8 · 10 -6 K -1 (стекло) α = (0 ± 0,5) · 10 -6 K -1 (керамика Robax) |
|||||
|
Степень точности * |
± 1 мкм (только для керамики Robax), ± 3 мкм, ± 5 мкм |
|||||
|
Исходная |
≤ ± 0,275 мкм / 10 мм |
|||||
|
Длина измерения ML * в мм |
240 340 440 640 840 1040 1240 1440 1640 1840 2040 2240 2440 2640, 2840, 3040 (стеклянная керамика ROBAX с объемом до 1640 мм) |
|||||
|
Опорные метки * |
LIDA 4x3: один в средней точке измерительной длины; LIDA 4x3 C:дистанционное кодирование |
|||||
|
масса |
3 г + 0,1 г / мм длина измерения |
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Сканирующая головка |
LIDA 48 |
LIDA 47 |
||||
|
Сопряжение |
1 В PP |
TTL |
||||
|
Интегрированная интерполяция * Период сигнала |
– 20 мкм |
5-кратный 4 мкм |
10-кратный 2 мкм |
50-кратный 0,4 мкм |
100-кратный 0,2 мкм |
|
|
Частота среза -3 дБ |
≥ 400 kHz |
– |
||||
|
Частота сканирования * |
– |
≤ 400 kHz ≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz |
≤ 200 kHz ≤ 100 kHz ≤ 50 kHz ≤ 25 kHz |
≤ 50 kHz ≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz |
≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz ≤ 6.25 kHz |
|
|
Разделение края a |
– |
≥ 0,100 мкс ≥ 0,220 мкс ≥ 0,465 мкс ≥ 0,950 мкс |
≥ 0,100 мкс ≥ 0,220 мкс ≥ 0,465 мкс ≥ 0,950 мкс |
≥ 0,080 мкс ≥ 0,175 мкс ≥ 0,370 мкс |
≥ 0,080 мкс ≥ 0,175 мкс ≥ 0,370 мкс |
|
|
Скорость перемещения |
≤ 480 м / мин |
≤ 480 м / мин ≤ 240 м / мин ≤ 120 м / мин ≤ 60 м / мин |
≤ 240 м / мин ≤ 120 м / мин ≤ 60 м / мин ≤ 30 м / мин |
≤ 60 м / мин ≤ 30 м / мин ≤ 15 м / мин |
≤ 30 м / мин ≤ 15 м / мин ≤ 7,5 м / мин |
|
|
Интерполяция |
± 45 нм |
– |
||||
|
Концевые выключатели |
L1 / L2 с двумя разными магнитами; выходные сигналы : TTL (без линейного драйвера) |
|||||
|
Электрическое подключение |
Кабель 0,5 м, 1 м или 3 м, с 15-контактным разъемом D-sub |
|||||
|
Длина кабеля |
≤ 20 м (с кабелем HEIDENHAIN) |
|||||
|
Питание |
DC 5 В ± 0,5 В |
|||||
|
Потребляемый ток |
<130 мА |
<150 мА (без нагрузки) |
||||
|
Вибрация 55 Гц - 2000 Гц Удар 6 мс |
≤ 500 м / с 2 (EN 60 068-2-6) ≤ 1000 м / с 2 (EN 60 068-2-27) |
|||||
|
Рабочая Температура |
-10 ° C до 70 ° C |
|||||
|
Масса сканирующей головки Соединительный кабель |
20 г (без кабеля) 22 г / м 32 g |
|||||
