Станки для металлообрабатывающей промышленности от 20 000 рублей
Главная Автоматика и комплектующие HEIDENHAIN Датчики линейных перемещений HEIDENHAIN Открытые датчики Открытый датчик LIF 471/481 HEIDENHAIN (ХАЙДЕНХАЙН)
Открытый датчик LIF 471/481 HEIDENHAIN (ХАЙДЕНХАЙН)
Характеристики:
Открытый датчик LIF 471/481 HEIDENHAIN.
Для высокой точности. Линейные устройства LIF имеют измерительный стандарт, который изготовлен в процессе SUPRADUR на стеклянной подложке. Они работают по принципу интерференционного сканирования. Отличаются высокой точностью и повторяемостью, особенно просты в установке и имеют концевые выключатели и направляющие. Специальная версия LIF 481 V может использоваться в высоком вакууме до 10 бар.
Широкая область использования датчиков:
- технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве;
- установки автоматического монтажа в микроэлектронике;
- высокоточные металлообрабатывающие станки
- компараторы, измерительные машины и микроскопы, прецизионная измерительная техника;
- ультрапрецизионное оборудование.
Техническая характеристика:
|
Размер |
LIF 401 R |
|||||
|
Стандарт измерения * Коэффициент линейного расширения |
Фазовая решетка SUPRADUR на стеклянную керамику или стекло Zerodur; период решетки 8 мкм α = (0 ± 0,1) x 10 -6 K -1 (керамическая керамика Zerodur) α 8 x 10 -6 K -1 (стекло) |
|||||
|
Степень точности * |
± 1 мкм (только для керамической керамики Zerodur до измерительной длины 1020 мм), ± 3 мкм |
|||||
|
Исходная |
≤ ± 0,225 мкм / 5 мм |
|||||
|
Длина измерения ML * в мм |
70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 620 670 720 770 820 870 920 970 1020 1140 1240 1340 1440 1540 1640 |
|||||
|
Опорные метки |
Один в средней точке измерения длины |
|||||
|
масса |
0,8 г + 0,08 г / мм длина измерения |
|||||
|
Сканирующая головка |
LIF 48 |
LIF 47 |
||||
|
Сопряжение |
1 В PP |
TTL |
||||
|
Интегрированная интерполяция * Период сигнала |
– 4 мкм |
5-кратный 0,8 мкм |
10-кратный 0,4 мкм |
20-кратный 0,2 мкм |
50-кратный 0,08 мкм |
100-кратный 0,04 мкм |
|
Частота среза -3 дБ |
≥ 1 МГц |
– |
||||
|
Частота сканирования * |
– |
≤ 500 kHz ≤ 250 kHz ≤ 125 kHz |
≤ 250 kHz ≤ 125 kHz ≤ 62.5 kHz |
≤ 250 kHz ≤ 125 kHz ≤ 62.5 kHz |
≤ 100 kHz ≤ 50 kHz ≤ 25 kHz |
≤ 50 kHz ≤ 25 kHz ≤ 12.5 kHz |
|
Разделение края a |
– |
≥ 0,080 мкс ≥ 0,175 мкс ≥ 0,370 мкс |
≥ 0,080 мкс ≥ 0,175 мкс ≥ 0,370 мкс |
≥ 0,040 мкс ≥ 0,080 мкс ≥ 0,175 мкс |
≥ 0,040 мкс ≥ 0,080 мкс ≥ 0,175 мкс |
≥ 0,040 мкс ≥ 0,080 мкс ≥ 0,175 мкс |
|
Скорость перемещения |
≤ 240 м / мин |
≤ 120 м / мин ≤ 60 м / мин ≤ 30 м / мин |
≤ 60 м / мин ≤ 30 м / мин ≤ 15 м / мин |
≤ 60 м / мин ≤ 30 м / мин ≤ 15 м / мин |
≤ 24 м / мин ≤ 12 м / мин ≤ 6 м / мин |
≤ 12 м / мин ≤ 6 м / мин ≤ 3 м / мин |
|
Интерполяция RMS-шум |
± 12 нм 0,6 нм (1 МГц2) ) |
– |
||||
|
Электрическое подключение* |
Кабель 0,5 м, 1 м или 3 м, с 15-контактным разъемом D-sub; интерфейсная электроника в разъеме |
|||||
|
Длина кабеля |
≤ 30 м; самонаведения, предел: ≤ 10 м; (с кабелем HEIDENHAIN) |
|||||
|
Источник питания |
DC 5 В ± 0,25 В |
|||||
|
Потребляемый ток |
<175 мА |
<180 мА (без нагрузки) |
||||
|
Вибрация 55 Гц - 2000 Гц Удар 11 мс |
≤ 200 м / с 2 (EN 60068-2-6) ≤ 500 м / с 2 (EN 60068-2-27) |
|||||
|
Рабочая Температура |
0 ° C до 50 ° C |
|||||
|
Масса Сканирующая головка *
Соединительный кабель соединитель |
Для шкалы керамической керамики Zerodur: 25 г Для стекла: 9 г 38 г / м 75 g |
|||||
