Станки для металлообрабатывающей промышленности от 20 000 рублей
Главная Автоматика и комплектующие HEIDENHAIN Датчики линейных перемещений HEIDENHAIN Открытые датчики Открытый датчик LIP 6071 / LIP 6081 HEIDENHAIN (ХАЙДЕНХАЙН)
Открытый датчик LIP 6071 / LIP 6081 HEIDENHAIN (ХАЙДЕНХАЙН)
Характеристики:
Открытый датчик LIP 6071 / LIP 6081 HEIDENHAIN.
Для очень высокой точности. Датчики LIP обладают очень малыми шагами измерения с очень высокой точностью и повторяемостью. Они работают в соответствии с принципом интерференционного сканирования и имеют фазовую решетку DIADUR в качестве измерительного стандарта.
Широкая область использования датчиков:
- технологическое и измерительное оборудование в полупроводниковом производстве;
- установки автоматического монтажа в микроэлектронике;
- высокоточные металлообрабатывающие станки
- компараторы, измерительные машины и микроскопы, прецизионная измерительная техника;
- ультрапрецизионное оборудование.
Техническая характеристика:
|
Размер |
LIP 6001 |
|
Стандарт измерения * Коэффициент линейного расширения |
Фазовая решетка OPTODUR на керамической керамике Zerodur; период решетки 8 мкм α = (0 ± 0,1) x 10 -6 K -1 (керамическая керамика Zerodur) α ≈ 8 x 10 -6 K -1 ( стекло ) |
|
Степень точности * |
± 1 мкм (только для керамической керамики Zerodur до измерительной длины 1020 мм); ± 3 мкм |
|
Исходная |
≤ ± 0,175 мкм / 5 мм |
|
Длина измерения ML * в мм |
20 30 50 70 120 170 220 270 320 370 420 470 520 570 |
|
Ссылка |
Один в средней точке измерения длины |
|
масса |
1,1 г + 0,11 г / мм длина измерения |
|
|
|
|
Сканирующая головка |
LIP 608 |
LIP 607 |
||||||
|
Сопряжение |
1 В PP |
TTL |
||||||
|
Период интерполяции |
– 4 мкм |
5-кратный 0,8 мкм |
10-кратный 0,4 мкм |
25-кратный 0,16 мкм |
50-кратный 0,08 мкм |
100-кратный 0,04 мкм |
500-кратный 0,008 мкм |
|
|
Частота среза -3 дБ |
≥ 1 МГц |
|||||||
|
Частота сканирования |
– |
– – ≤ 312.5 kHz |
– ≤ 312.5 kHz ≤ 156.25 kHz |
≤ 250 kHz ≤ 125 kHz ≤ 62.5 kHz |
≤ 125 kHz ≤ 62.5 kHz ≤ 31.25 kHz |
≤ 62.5 kHz ≤ 31.25 kHz ≤ 15.63 kHz |
≤ 12.5 kHz ≤ 6.25 kHz ≤ 3.13 kHz |
|
|
Разделение края a |
– |
– – ≥ 0,135 мкс |
– ≥ 0,07 мкс ≥ 0,135 мкс |
≥ 0,03 мкс ≥ 0,07 мкс ≥ 0,135 мкс |
||||
|
Скорость перемещения |
≤ 240 м / мин |
-- – ≤ 75 м / мин |
– ≤ 75 м / мин ≤ 37 м / мин |
≤ 60 м / мин ≤ 30 м / мин ≤ 15 м / мин |
≤ 30 м / мин ≤ 15 м / мин ≤ 7,5 м / мин |
≤ 15 м / мин ≤ 7,5 м / мин ≤ 3,7 м / мин |
≤ 3 м / мин ≤ 1,5 м / мин ≤ 0,75 м / мин |
|
|
Интерполяция RMS-шум |
± 4 нм 0,4 нм (1 МГЦ 3) ) |
– |
||||||
|
Электрическое подключение* |
Кабельный выход слева / справа и прямой / угловой 1 В PP : кабель, 0,5 м, 1 м или 3 м, разъем D-sub 15-контактный TTL: кабель, 0,5 м или 1 м, с 15-контактным разъемом D-sub |
|||||||
|
Длина кабеля |
С кабелем HEIDENHAIN: самонаведение, предел: ≤ 10 м; только инкрементный: ≤ 20 м; |
|||||||
|
Питание |
DC 5 В ± 0,5 В |
|||||||
|
Потребляемый ток |
≤ 150 М.А. |
≤ 250 мА (без нагрузки) |
||||||
|
Вибрация 55 Гц - 2000 Гц Удар 6 мс |
≤ 500 м / с 2 (IEC 60 068-2-6) ≤ 1000 м / с 2 (IEC 60 068-2-27) |
|||||||
|
Рабочая Температура |
-10 ° C до 70 ° C |
|||||||
|
масса |
Сканирующая головка Соединительный кабель |
≈ 5 г (без кабеля) AK LIP 608 ≈ 71 г; AK LIP 607 ≈ 74 г ≈ 22 г / |
||||||
